靶材中頻電源4015 G2

通快HUTTINGER霍廷格為眾多高科技行業提供所需的工藝電源，憑借出色的精度、能效和高工藝穩定性，已成為等離子體高科技應用的市場領導者。所產電源廣泛用于太陽能電池、半導體、平板顯示、光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜及大面積玻璃鍍膜等行業的沉積、刻蝕工藝。電源種類有：等離子體中頻電源、等離子體脈沖直流電源、等離子體直流電源、等離子體射頻電源。 我司有自行研發的霍廷格全系列成套測試系統，維修后可達到現場使用同等條件，測試3x8個小時負載合格后才按流程出貨。直流電源常見故障有：通電無顯示、主電源欠壓或過壓、電源缺相、控制電源異常、過溫、通訊丟失、無法啟動、輸出功率不夠、輸出電壓電流不穩等。中頻電源常見故障有：通電無顯示、交流斷開、無法啟動、負載短路、振蕩器模塊損壞、功率模塊故障、輸出頻率偏低或偏高、輸出功率偏低或偏高、輸出電流偏低或鍽高、輸出電壓偏低或偏高、輸出不平衡、輸出不匹配、過溫、CAN總線錯誤等。射頻電源常見故障有：通電無顯示、無法啟動、過溫、系統故障、通訊故障、功率模塊故障、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩定、振蕩信號異常等。 常修型號： Truplasma MF3020 Truplasma MF3030 Truplasma MF7050 Truplasma MF7100 Truplasma Bias 4018 TruPlasma Bias 4026 Truplasma Bipolar 4015 G2 Truplasma?Bipolar 4020 Truplasma Bipolar4020G2.1(2*10kw) Truplasma Bipolar 4030 G2.1 TruPlasma RF 3012 TruPlasma RF 3006 G213 TruPlasma RF7010 TruPlasma DC 3002 TruPlasma DC 3005 TruPlasma DC 3010 TruPlasma DC 3020 TruPlasma DC 3025 TruPlasma DC 3030 TruPlasma Bias 3012 TruPlasmaDC 3002 TruPlasma DC 3005 ?TruPlasma DC 3010 TruPlasma DC 3020 TruPlasma DC 3025 ? TruPlasmaDC 3030 TruPlasma DC 3040 TruPlasma DC 3050 TruPlasma DC 3060 TruPlasma DC 3080? TruPlasmaDC 3100 ?TruPlasma DC 3120 TruPlasma DC 4005 TruPlasma MF 3010 TruPlasma MF 3040 TruPlasma MF 7000TruPlasma RF 7015 ?TruPlasma RF 7018 TruPlasma RF 7020?TruPlasma RF 7030 TruPlasma RF 7040 TruPlasma RF 7050 TruPlasma RF 1001 ?TruPlasma RF 1002? TruPlasma RF 1003 TruPlasma Arc 3150 TruPlasma Bias 3003 ? TruPlasma DC 4008 TruPlasma DC 3050 TruPlasma DC 3060 TruPlasma DC 3040 TruPlasma DC 3080 TruPlasma DC 4010 TruPlasma DC 4015 TruPlasma DC 4016 TruPlasma DC 4020 TruPlasma DC 4040 TruP1asma Arc 3200 PFG?1600 PFG?300 PFG?1000 PFG?5000 PFG?10000DC PFG?2500 PF?1003 TIG30-100 PMP008 ARM20 15C